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淺析LED外延片及質(zhì)量辨別方法

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-10     來源:[標(biāo)簽:出處]     作者:[標(biāo)簽:作者]     瀏覽次數(shù):151
核心提示:
網(wǎng)訊 外延片的生產(chǎn)制作過程是非常復(fù)雜,展完外延片,接下來就在每張外延片隨意抽取九點(diǎn)做測試,符合要求的就是良品,其它為不良品(電壓偏差很大,波長偏短或偏長等)。良品的外延片就要開始做電極(P極,N極),接下來就用激光切割外延片,然后百分百分撿,根據(jù)不同的電壓,波長,亮度進(jìn)行全自動(dòng)化分檢,也就是形成led晶片(方片)。然后還要進(jìn)行目測,把有一點(diǎn)缺陷或者電極有磨損的,分撿出來,這些就是后面的散晶。此時(shí)在藍(lán)膜上有不符合正常出貨要求的晶片,也就自然成了邊片或毛片等。不良品的外延片(主要是有一些參數(shù)不符合要求),就不用來做方片,就直接做電極(P極,N極),也不做分檢了,也就是目前市場上的LED大圓片(這里面也有好東西,如方片等)。

:襯底材料

產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料,需要不同的外延生長技術(shù)、芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù),襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下九個(gè)方面:

  1,結(jié)構(gòu)特性好,外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度。

  2,界面特性好,有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng);

  3,化學(xué)穩(wěn)定性好,在外延生長的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕;

  4,熱學(xué)性能好,包括導(dǎo)熱性好和熱失配度。

  5,導(dǎo)電性好,能制成上下結(jié)構(gòu);

  6,光學(xué)性能好,制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收;

  7,機(jī)械性能好,器件容易加工,包括減薄、拋光和切割等;

  8,價(jià)格低廉;

  9,大尺寸,一般要求直徑不小于2英吋。

  襯底的選擇要同時(shí)滿足以上九個(gè)方面是非常困難的。所以,目前只能通過外延生長技術(shù)的變更和器件加工工藝的調(diào)整來適應(yīng)不同襯底上的半導(dǎo)體發(fā)光器件的研發(fā)和生產(chǎn)。用于氮化鎵研究的襯底材料比較多,但是能用于生產(chǎn)的襯底目前只有三種,即藍(lán)寶石Al2O3和碳化硅SiC襯底以及Si襯底。

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