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高性能X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT9500X系列發(fā)售

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-10     來(lái)源:[標(biāo)簽:出處]     作者:[標(biāo)簽:作者]     瀏覽次數(shù):139
核心提示:
的生產(chǎn)與銷(xiāo)售。本公司于12月19日開(kāi)始銷(xiāo)售可高精度測(cè)量電鍍・蒸鍍等極微小部位的納米級(jí)別的鍍層厚度測(cè)量?jī)x SFT9500X系列。出貨時(shí)間預(yù)定為2012年2月上旬。

高性能X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x SFT9550X

的高功能化、小型化的發(fā)展,連接器和導(dǎo)線(xiàn)架等電子部件也逐漸微細(xì)化了。與此同時(shí),電鍍・蒸鍍等金屬薄膜厚度的測(cè)量也要求達(dá)到幾十微米的極微小部位測(cè)量以及達(dá)到納米等級(jí)的精度。

  SFT9500X系列通過(guò)新型X射線(xiàn)聚光系統(tǒng)(毛細(xì)管)和X射線(xiàn)源的組合,可達(dá)到照射直徑30μmφ的高能量X射線(xiàn)束照射。以往的X射線(xiàn)熒光膜厚儀由于照射強(qiáng)度不足而無(wú)法獲得足夠的精度,而SFT9500X系列則可以對(duì)導(dǎo)線(xiàn)架、連接器、柔性線(xiàn)路板等的極微小部位進(jìn)行準(zhǔn)確、迅速的測(cè)量。

  SIINT于1978年在世界上率先推出了臺(tái)式X射線(xiàn)膜厚儀,而后在日本國(guó)內(nèi)及世界各地進(jìn)行廣泛銷(xiāo)售,得到了顧客很高的評(píng)價(jià)。此次推出的SFT9500X系列是一款凝聚了長(zhǎng)期積累起來(lái)的X射線(xiàn)微小部位測(cè)量技術(shù)的高性能X射線(xiàn)熒光膜厚儀。今后將在電子零部件、金屬材料、鍍層加工等領(lǐng)域進(jìn)行銷(xiāo)售,對(duì)電子儀器的性能・品質(zhì)的提高作出貢獻(xiàn)。

  SFT9500X系列的主要特征

  1. 極微小部位的薄膜・多層膜測(cè)量

  通過(guò)采用新型的毛細(xì)管(X射線(xiàn)聚光系統(tǒng))和X射線(xiàn)源,把與以往機(jī)型(SFT9500)同等強(qiáng)度的X射線(xiàn)聚集在30μmφ的極微小范圍。因此,不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等級(jí)的微小范圍。同時(shí),也可對(duì)幾十納米等級(jí)的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。

  2.掃描測(cè)量

  通過(guò)微小光束對(duì)樣品進(jìn)行XY掃描,可把樣品的鍍層厚度分布和特定元素的含量分布輸出為二維掃描圖像數(shù)據(jù),更方便進(jìn)行簡(jiǎn)單快速的觀(guān)察。

  3. 異物分析

  通過(guò)高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合,可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線(xiàn),通過(guò)與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析(Al~U)。

  SFT9500X系列的主要產(chǎn)品規(guī)格

SFT9500X

SFT9550X

樣品臺(tái)尺寸
(寬)×(長(zhǎng)) 

175×240 mm

330×420 mm

樣品臺(tái)移動(dòng)量
(X)×(Y)×(Z) 

150×220×150 mm

300×400×50 mm

被測(cè)樣品尺寸(最大)
(寬)×(長(zhǎng))×(厚度) 

500×400×145 mm

820×630×45 mm

X 射  線(xiàn) 源

空冷式小型X射線(xiàn)管(最大50kV,1mA)

檢   測(cè)  器

Vortex半導(dǎo)體檢測(cè)器(無(wú)需液氮)

照 射 直 徑

最小30μmφ

樣 口 觀(guān) 察

CCD攝像頭(附變焦功能)

樣 品 對(duì) 焦

激光點(diǎn)

濾 波 器

Au極薄膜測(cè)量用濾波器

操  作  部

電腦、19英寸液晶顯示器

測(cè) 量 軟 件

薄膜FP法、薄膜検量線(xiàn)法

選       配

能譜匹配軟件、紅色顯示燈、打印機(jī)

測(cè) 量 功 能

自動(dòng)測(cè)量、中心搜索

數(shù) 據(jù) 處 理

Microsoft® Excel、Microsoft® Word(配備統(tǒng)計(jì)處理;測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、最大・最小值、CV值、Cpk值等測(cè)量結(jié)果報(bào)告制作(包含樣品圖像))

安 全 功 能

樣品室門(mén)安全鎖、儀器診斷功能

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