●具有6軸的多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)靈活搬運(yùn)
- 可用于從立式收納盒中取出基板以及伴有傾斜，翻轉(zhuǎn)等姿勢變換的所有搬運(yùn)工作
●擁有充足的可搬運(yùn)能力的長臂延伸模式
- 有能處理G10基板的臂長，其行程*大延伸至3.6m，上下行程為4.8m
| 機(jī)器人型號 |
SC400LC-01 |
| 結(jié)構(gòu) |
關(guān)節(jié)型 |
| 自由度 |
6 |
| 驅(qū)動方式 |
AC伺服方式 |
*
大
工
作
范
圍 |
臂 |
J1 |
旋轉(zhuǎn) |
±2.62rad |
| J2 |
上下 |
+1.83～-.44rad |
| J3 |
前后 |
＋2.09 ～ －.44 rad |
| 手腕 |
J4 |
轉(zhuǎn)動2 |
±5.24rad |
| J5 |
彎曲 |
±2.09rad |
| J6 |
轉(zhuǎn)動1 |
±6.28rad |
*
大
速
度 |
臂 |
J1 |
旋轉(zhuǎn) |
1.40rad/s |
| J2 |
上下 |
1.40rad/s |
| J3 |
前后 |
1.40rad/s |
| 手腕 |
J4 |
轉(zhuǎn)動2 |
1.57rad/s |
| J5 |
彎曲 |
1.57rad/s |
| J6 |
轉(zhuǎn)動1 |
2.53rad/s |
*大
搬運(yùn)重量 |
腕部 |
400kg |
| 臂部 |
第1臂 |
10kg ※1 |
| J3軸上部 |
30kg ※1 |
手腕允許
靜負(fù)荷
扭矩 |
J4 |
轉(zhuǎn)動2 |
1,960Nm |
| J5 |
彎曲 |
1,960Nm |
| J6 |
轉(zhuǎn)動1 |
980Nm |
手腕允許
*大慣性
力矩 |
J4 |
轉(zhuǎn)動2 |
200kgm2 |
| J5 |
彎曲 |
200kgm2 |
| J6 |
轉(zhuǎn)動1 |
147kgm2 |
| 清潔度 |
1000級（聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D） |
| 位置反復(fù)精度 |
±.5mm |
| 周圍溫度 |
10～30°C |
| 周圍濕度 |
20～85%RH （應(yīng)無結(jié)露） |
| 振動值 |
0.5G以下 |
| 設(shè)置條件 |
座架式 |
| 主機(jī)重量 |
3,800kg |
1 [ rad] =180 /π [ [ °] ,1 [ N m] =1 / 9.8 [ kgf m]
臂上的負(fù)荷搭載位置為第1臂或J3軸上部
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