潔凈室搬運(yùn)機(jī)器人 負(fù)載：165KG 動態(tài)范圍：2650mm 控制柜：DX100 用途：搬運(yùn)、半導(dǎo)體、潔凈室
大負(fù)載：165KG 大動作范圍：*大水平伸長達(dá)2650mm,動作*大高度達(dá)3130mm。 潔凈度達(dá)到ISO6級，可實現(xiàn)高度柔性的系統(tǒng)布局。
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