SEMI F47 支持功能是指，因瞬時停電或者主回路電源電壓暫時較低而導致伺服單元內(nèi)部的主回路 DC 電壓降到

規(guī)定值以下時，檢出 A.971 （欠電壓）警告，并對輸出電流進行限制的功能。

本功能支持半導體制造裝置要求的 SEMI F47 規(guī)格。

將本功能與瞬時停電保持時間 （ Pn509 ）的設(shè)定功能組合使用，在電源電壓降低時也可以繼續(xù)運行，不會因為

警報造成停機，無須進行恢復作業(yè)。

1).由上位裝置執(zhí)行時 

   上位裝置收到欠電壓 （ A.971 ）警告后對轉(zhuǎn)矩進行限制。收到欠電壓警告解除信號后解除轉(zhuǎn)矩限制。

2). 由伺服單元單體執(zhí)行轉(zhuǎn)矩限制時

根據(jù)欠電壓警告，在伺服單元內(nèi)部施加轉(zhuǎn)矩限制

收到欠電壓警告解除信號后，根據(jù)設(shè)定時間在伺服單元內(nèi)部對轉(zhuǎn)矩限制值進行控制。

2、軟限功能

    所謂軟限，是指不使用速度比率信號 （ P-OT 、 N-OT ），當機械的可動部超出軟限值時則與速度比率一樣進行強制停止的功能。

使用軟限時，需進行以下設(shè)定。

  • 將軟限功能設(shè)為有效

  • 設(shè)定軟限值

1).軟限功能有效／無效的選擇

軟限功能的有效／無效通過 Pn801= n. ??? X （軟限功能）進行設(shè)定。

軟限功能在以下場合 （確定機械坐標系原點的狀態(tài)）有效。除此以外的情況下，即使超出軟限范圍軟限功能也不

動作。

  • 完成 ZRET 指令后

  • 以 POS_SET 指令執(zhí)行了 REFE = 1 指令后

2).軟限值的設(shè)定

   設(shè)定正轉(zhuǎn)側(cè)、反轉(zhuǎn)側(cè)的軟限值。

    需根據(jù)方向設(shè)定區(qū)域，因此請務(wù)必設(shè)定成 “ 反轉(zhuǎn)側(cè)軟限值 < 正轉(zhuǎn)側(cè)軟限值 ” 。

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